1.是借助精度為0.5m的電子水平儀，用位移法可檢測(cè)大理石平臺(tái)的直線度，用次方法可檢測(cè)大理石平臺(tái)的平面度，將檢測(cè)的結(jié)果經(jīng)過(guò)算法換算，可得到大理石平臺(tái)的直線度和平面度的具體數(shù)值；其特點(diǎn)是精度不太高，但測(cè)量數(shù)據(jù)可靠，無(wú)“0”點(diǎn)漂移問(wèn)題，特別適合于在線測(cè)量與檢測(cè)精密大理石平臺(tái)。

 

2.測(cè)量精密大理石平臺(tái)直線度的方法可以通過(guò)精度為0.1m的電容測(cè)微儀用位移法測(cè)量，其表頭的示值即為精密大理石平臺(tái)的直線度的誤差值；在此測(cè)量中，由于電感測(cè)微儀自身的“0”點(diǎn)漂移較嚴(yán)重，需經(jīng)過(guò)長(zhǎng)達(dá)24h的穩(wěn)定后，其數(shù)值才可信，故使得精密大理石平臺(tái)加工與測(cè)量間的銜接時(shí)間增長(zhǎng)。

 

更高精度精密大理石平臺(tái)的加工必須有更高一級(jí)精度的檢測(cè)手段，目前常采用HP5528A或HP5529A動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)儀，它的顯示精度為1nm，可檢測(cè)平面度、垂直度、直線度、時(shí)基即振動(dòng)、角位移測(cè)量、對(duì)角測(cè)量等等。動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)儀的檢測(cè)精度特別高，但由于其復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)和復(fù)雜的調(diào)試程序，尤其是光具返回光束的光強(qiáng)和保證在80%以上，否則光束將被擋住，這對(duì)精密大理石平臺(tái)調(diào)試者來(lái)說(shuō)